北齊
乾明元年(560年) 僧稠圓寂，有《止觀法》行世。
北周
承光元年(577年)周武帝下詔毀佛法，少林寺被廢。
大象二年(580年)周靜帝下詔重興佛道二教。少林寺復(fù)立，更名陟岵寺。
隋
開皇元年(580年) 恢復(fù)少林寺名。
開皇中(581-600年)隋文帝詔賜少林寺柏谷塢地一百頃。
大業(yè)十四年(618年) 天下大亂。少林寺被山賊所劫，僧徒拒之。塔院被焚，靈塔尚存。
唐
武德四年(621年) 四月廿七日，少林寺上座善護(hù)等十三僧，聯(lián)合偽轘州司馬趙孝宰等翻轘州城，執(zhí)王世充侄王仁則歸唐有功。三日后，秦王李世民派員至寺頒賞。
武德五年(622年) 少林寺因居偽鄭之地，被廢省。
武德七年(624年) 寺僧不服減省上訴。七月，敕少林寺依舊置立。
武德八年(625年) 二月，重賜少林寺柏谷塢地四十頃，水碾一具。
咸亨中(670-674年) 高宗巡幸少林寺，御題《金字般若碑》，留幡像及施物。
弘道元年(683年) 禪宗大師法如入少林寺。九月廿五日，武則天遣武三思送金、絹等物至少林寺，立《大唐天后御制愿文》，為亡母楊氏造功德。
嗣圣元年(684年) 高宗薨，武則天至少林寺為高宗造功德。
